易錦良指出,天虹去年將開發重心放在310×310毫米PLP平台,首台採客戶評估模式,第二台起已轉為正式銷售,二至四號機預計今年底出貨,第五號機則落在明年第一季。易錦良指出,一般設備自收到PO至交貨約4個月,若客製化程度較高,則約需6個月。

除設備銷售外,天虹也在湖口廠設置獨立區域,利用自家設備協助客戶開發先進製程。目前第一區已有客戶進駐、第二區合作大致談定,預估明年第一季前第三區也可望由客戶進駐。

天虹發展歷程。呂承哲攝
天虹發展歷程。呂承哲攝

海外布局方面,天虹去年底收購日本C&CK並更名為「哲虹」,未來將作為拓展日本市場的據點。易錦良表示,熊本仍是未來一定會走的方向,但現階段先透過既有日本企業作為Hub,再向其他地區拓展。此外,預計下季也將有天虹設備進入美國,逐步擴大海外市場版圖。

技術布局方面,易錦良指出,先進製程與先進封裝仍是客戶投資重點,光通訊相關應用也開始帶動設備需求,CPO帶動磷化銦(InP)設備需求,今年已為天虹帶來不少生意,但目前產業最大瓶頸不是需求,而是磷化銦基板供應不足,這全球仍須進一步擴產。

易錦良表示,天虹先進封裝今年營收占比估約40%。下半年訂單狀況仍佳,部分能見度已看到明年第二季,ALD設備出貨比重明顯提高,310×310毫米PLP平台也接獲不同客戶需求,相關設備預計年底陸續交付並認列營收。

天虹ALD設備發展路線圖。呂承哲攝
天虹ALD設備發展路線圖。呂承哲攝

過去天虹另一大業務來源碳化矽(SiC),近期也受惠資料中心需求回溫。易錦良表示,SiC客戶近期相當忙碌,看好明年產業可能迎來下一波擴產機會。

在新設備方面,天虹正開發新一代PVD腔體,透過提高電漿密度,改善TSV、TGV等高深寬比結構的階梯覆蓋率;ALD則布局UV ALD及310×310毫米PLP ALD,其中UV ALD利用光化學反應降低電漿損傷與熱預算,鎖定更先進製程需求。

易錦良強調,UV ALD與PLP ALD都是天虹挑戰「世界第一」的技術,過去台灣設備商常被視為國際設備大廠的追隨者,但台灣擁有全球最先進的半導體客戶,也有機會從Follower轉為Pioneer。

此外,天虹已完成12吋機械剝離(Mechanical Debond)設備開發,預計下月出貨給客戶,主要瞄準不透光載板無法使用Laser Debond或UV Debond的需求;蝕刻領域則預計年底推出Vectra新腔體,鎖定Silicon Etch及SiC Etch,並應用於TSV等結構。

天虹執行長易錦良。呂承哲攝
天虹執行長易錦良。呂承哲攝

至於EUV量測設備,易錦良表示,目標今年底或明年初送往客戶端評估,爭取進入客戶廠區。天虹目前累計取得425件專利,其中約半數為發明專利,持續以技術及專利建立競爭門檻。

區域市場方面,天虹中國營收比重持續下降,但整體營收仍成長,目前以台灣市場成長幅度最大。易錦良表示,中國市場競爭相對激烈,反觀台灣受惠先進製程及封裝投資,仍是目前主要成長來源。

易錦良表示,天虹正朝跨國半導體設備公司發展,從兩岸、日本到美國逐步擴張布局,現在開始在挑戰世界第一的地位,不再只是一個Follower,希望結合台灣的技術能量與產業經驗,朝全球設備市場前進。

作者簡介

呂承哲

壹蘋新聞網財經科技記者,專注半導體、AI與新能源產業,追蹤台積電、輝達及台廠電子供應鏈動態,並解析市場投資趨勢。


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