台積電表示，TSMC Arizona、ESMC、JASM及台積電南京等子公司，因計畫於當地設廠營運而分別取得美國、德國、日本及中國政府之補助款，主要用於補貼不動產、廠房及設備之購置成本，以及建造廠房與生產營運所產生之部分成本與費用。上述計畫於2025及2024年度合計分別取得之政府補助款為762.59億元及751.64億元。
上述子公司分別與當地政府簽署補助合約，合約內容包含應遵守之建廠時程及其他條件。另TSMC Arizona得針對符合資格之投資，申請投資金額之25%作為投資補助。
財報揭露，美國子公司TSMC Arizona（亞利桑那州廠）獲利161.41億元；日本子公司JASM（熊本廠）虧損97.67億元，建廠中的德國子公司ESMC（德勒斯登廠）虧損6.88億元。中國子公司獲利115.71億元，南京子公司獲利276.05億元。
台積電在宣布投資亞利桑那州之後，每年在年報公布的TSMC Arizona的虧損金額分別為2021年48.1億元、2022年94.3億元、2023年109.24億元，2024年則是虧損142.98億元，2025年終於轉虧為盈。
從2025年各季財報數據查看，TSMC Arizona在2025年第一季獲利4.96億元、第二季獲利42.32億元、第三季獲利驟降至4057萬元，第四季則是大幅回升至113.72億元，全年合計獲利161.41億元。先前市場傳聞，TSMC Arizona第三季獲利驟降，是發生工業氣體服務商供應意外，導致晶圓報廢，而非美國營運成本驟升所致，不過，台積電並未證實此事。
台積電說明，美國亞利桑那州第一座晶圓廠已於2024年第四季量產，第二座提前至2027年下半年量產，並規劃後續晶圓廠與先進封裝廠；日本熊本與德國德勒斯登晶圓廠亦依計畫推進。台積電強調，未來數年仍將持續在台灣投資先進製程與先進封裝，確保長期技術與產能競爭力。
根據財測，台積電2026年第一季合併營收將介於346億至358億美元，以中位數計算，季增約4%、年增達38%，新台幣兌1美元假設為31.6元；毛利率可達63～65%，惟部分將受到海外晶圓廠量產帶來的毛利率稀釋影響。
台積電指出，隨海外晶圓廠規模擴大，未來數年毛利率稀釋初期約2%至3%，後期擴大至3%至4%。此外，2奈米製程自2025年第四季起開始量產，2026年將再稀釋毛利率約2%至3%。不過，公司強調，透過跨製程產能優化與製造效率提升，有助支撐整體獲利能力。
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