從廢液到電子級材料!台積電攜供應商推循環再生 每年可少買1.6萬噸
【記者呂承哲/台北報導】全球晶圓代工龍頭台積電(2330)持續深化綠色循環布局,2025年針對黃光製程中大量使用的有機溶劑丙二醇甲醚(PGME)與丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA),攜手供應商開發廢液再利用技術,透過「源頭分流管理、製程參數優化、成分圖譜比對」三大流程,成功將廢液再製為符合電子級規格的PGME/PGMEA。
【記者呂承哲/台北報導】全球晶圓代工龍頭台積電(2330)持續深化綠色循環布局,2025年針對黃光製程中大量使用的有機溶劑丙二醇甲醚(PGME)與丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA),攜手供應商開發廢液再利用技術,透過「源頭分流管理、製程參數優化、成分圖譜比對」三大流程,成功將廢液再製為符合電子級規格的PGME/PGMEA。
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