荷蘭相關新聞與內容整理|壹蘋新聞網

共有 2027 項結果


High NA EUV量產加速!ASML全球10台已運作、3台裝機中 拚180 WPH

High NA EUV量產加速!ASML全球10台已運作、3台裝機中 拚180 WPH

【記者呂承哲/台北報導】High NA EUV(高數值孔徑極紫外光微影)加速邁向高量產(HVM)。ASML指出,目前全球已有4家客戶完成10台High NA EUV裝機並投入運作,另有3台正在出貨與裝機,全球EXE系統累計曝光晶圓突破135萬片。EXE:5200B驗收測試生產力已達每小時135片晶圓(WPH),英特爾更率先導入量產邏輯產品,ASML未來將進一步挑戰180 WPH以上。

loading