標準局今召開「精準量測技術 支持產業、守護民生」記者會,由標檢局長陳怡鈴主持。標檢局是國內度量衝專責機關,建置並維運國家最高量測標準。

標檢局長期提供百工百業的精準量測技術及應用服務,目前已制定22項必項檢定法定度量衡器,包括電表、水表、瓦斯表、磅秤、計程車、酒測器、加油槍及測速儀等。每年檢定量超過400萬具。

標準局表示,針對使用中的度量衡器進行市場檢查及購樣,每年超過6萬具,確保每一具「同」字印證的器具皆準備可靠。

為協助產業升級,標檢局每年提供5000件標準校正服務,將最高量測標準傳遞至2200家校正檢測實驗室,支援各產業領域400萬件檢測服務,創造200億元檢測產值。

標檢局表示,創新量測技術應用包括晶片先進製程檢測技術,突破極限量測能力,另針對風機,結合AI技術節省巡檢人力與時間,機械部分建立智慧量測,提升工具機組裝能力,針對軌道的量測技術自主化,實現在地校正。

開發奈米級量測技術部分,標檢局表示,過去的痛點是傳統光學解析不足,製程參數無法精準掌握,無法辯識小尺寸的污染物,因此協助晶片產業掌握關鍵尺寸,增進效能,確保材料純度並提升良率。

標檢局舉例,3D透視眼X-ray關鍵尺寸量測系統,包括3D關鍵尺寸和形貌計量,自動量測12吋晶圓;微粒獵人則是Supersizer線上監測系統,包括線上粒子污染量測,製程化學試劑及研磨液等。


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