日媒：台積電年底前收到High NA EUV機台　生產比2奈米先進2代製程

「沙德爾」恐達強颱等級！重大分歧點就在這天

2024/11/05 09:42 記者呂承哲綜合報導

【記者呂承哲／綜合外電】根據外媒報導，全球晶圓代工龍頭台積電正在第四季於竹科的研發中心引進荷商艾司摩爾（ASML）的高數值孔徑極紫外光（High NA EUV）微影設備，並用以比2奈米更先進2代的製程技術，沒有打算馬上讓該機台進入量產階段。

荷蘭ASML製造的EUV。路透社

根據《日經亞洲》報導， High NA EUV 機台要價約3.5億美元，換算超過110億元新台幣，報導指出，台積電考慮使用該設備生產A10製程，比起2025年就要開始量產的2奈米製程還要先進2代，若根據台積電先進製程藍圖規劃，A16製程預計在2026年下半年投產，報導指出可能會等到2030年才會更廣泛採用 High NA EUV 機台進行大規模量產。

根據先前消息，台積電要使用High NA EUV機台生產晶片，將等到2028年推出的改良版A14P製程。

在此之前，英特爾第一季成為全球首家收到High NA EUV 機台的半導體公司，並在第二季收到第二套，試圖在先進製程挽回頹勢；此外，三星也傳出將在2025年取得設備。不過，從ASML先前揭露的財報顯示，新增EUV訂單遭到腰斬，外界推出台積電應該持續布局投資，可能是英特爾、三星在先進製程節點研發與量產的挫敗，導致戰略調整下，減少採用EUV機台所致。

本文依《新聞倫理政策》、《新聞規範》與《事實查核政策》採訪撰寫，如有疑問與指教請見《更正政策》。

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作者簡介

呂承哲

壹蘋新聞網財經科技記者，專注半導體、AI與新能源產業，追蹤台積電、輝達及台廠電子供應鏈動態，並解析市場投資趨勢。

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