直擊VSMC開幕｜晶圓廠藏生態池！大片綠意搬進廠區　員工餐廳也有巧思

從智慧製造到終端應用　AI代理即時揪製程異常

VSMC新加坡12吋晶圓廠不只展示製造端，現場也設置應用展示區，呈現晶片從製程技術一路延伸至終端產品的應用版圖。目前技術平台涵蓋130奈米BCD、SMOS10、90奈米BCD、40奈米ULP、40奈米eFlash及Interposer等，鎖定車用與工業、IoT智慧裝置、運算與AI，以及行動與消費電子等市場。

其中，車用及工業應用涵蓋系統基礎晶片（SBC）、閘極驅動器、電池管理IC，以及ECU與安全系統；運算與AI則包括智慧電源級、DC-DC／LDO、馬達驅動及電源控制器。現場也展示汽車內部電子系統，以及由印度TVS Motor與恩智浦技術合作的M1-S智慧電動機車，呈現晶片如何實際落地至智慧移動場景。

走進生產環境，智慧製造與高度自動化成為另一大特色。廠內透過自動化倉儲與檢索系統管理物料，並導入自動化物料搬運系統（AMHS），讓晶圓在不同設備間自動移動；營運控制中心則如同晶圓廠「大腦」，即時掌握晶圓移動、設備狀態、生產流量及製程表現。

VSMC也將AI導入廠務營運，面對廠內每秒數以千計的作業，AI代理系統可即時偵測關鍵製程異常，在影響生產前發出警報，並分析趨勢、找出可能原因，再依過往案例推薦解決方案。

異常排除後，系統還會驗證復原情況及製程穩定性，搭配緊急應變中心，提高晶圓生產穩定性及可靠度。

把生態池搬進晶圓廠　員工餐廳兼顧多元文化

永續及多元文化也成為VSMC新廠設計重點。VSMC董事長方略表示，永續發展從計畫第一天起就是VSMC的基石，目前相關進度按計畫推進，預計2027年前取得美國LEED綠建築認證及新加坡Green Mark綠色標章雙重認證。

實際走進廠區，辦公及員工休憩空間大量導入自然採光與綠化設計，挑高交誼廳種植大型植栽，員工餐廳採大面積落地窗，從休息區可直接看到廠區綠地、生態池及周邊森林。廠區同時導入高效能建築外殼、節能空調、LED照明，並預留太陽能光電整合條件。

員工環境則強調多元文化。方略指出，VSMC員工來自不同國家，公司須尊重不同文化背景並維持平等，例如員工餐廳提供清真、印度馬來及西式等不同餐點；新加坡本身具有管理多國籍人才經驗，也有利全球人才融入工作及生活。

一滴水重複用5次　年回收190萬立方公尺省480萬新幣

半導體製造高度仰賴水資源，VSMC也將水循環納入新廠設計。現場解說指出，廠內依不同製程產生的廢水進行分類、處理及回收，目前製程每日使用約5000立方公尺回收水，相當於2座奧運標準游泳池。

其中，VSMC設置Local Scrubber（局部洗滌塔）水回收系統，將處理製程廢氣後產生的廢水收集，再經過過濾、逆滲透（RO）及儲存等程序，重新供應洗滌塔使用。

Local Scrubber廢水處理能力達每日6600立方公尺，回收水可重複利用5次。若以設計產能計算，每年可產生約190萬立方公尺回收水，相當於約760座奧運標準游泳池，估計每年可節省約480萬新幣水費。

除了Local Scrubber，VSMC也導入超純水（UPW）過濾系統反洗水回收，以及CMP、CuCMP製程廢水回收再利用，降低NEWater使用量及廢水排放。

廢液也能再利用　拚廢IPA再生、硫酸銅回收銅

除了水資源循環，VSMC也針對晶圓製造產生的化學廢液建立獨立收集及監控系統，包括CMP產生的廢研磨液，以及濕製程、微影製程產生的廢酸、廢鹼、廢IPA及廢稀釋劑等。

不同化學廢液均設置獨立專用管線，輸送至對應的中央廢液儲存槽，廠內並透過數位系統掌握液位及溫度，搭配遠端CCTV、洩漏偵測、排氣處理及警報通知，一旦出現異常，相關人員即使不在廠區，也能透過手機接收警報。

VSMC進一步規劃將化學廢液從末端處理轉向循環再利用。依現場展示，廢IPA未來可作為工業替代燃料，或經純化後重新作為工業級IPA使用；廢硫酸銅（CuSO4）則規劃從高濃度廢液中回收銅，轉化為可再利用的銅材；製程產生的廢硫酸（H2SO4）也規劃回到廢水處理系統再利用，進一步降低晶圓製造過程的廢棄物排放。