【記者呂承哲／台北報導】AMC微污染防治與半導體化學濾網廠濾能（6823）參展SEMICON Taiwan 2026，展示GFT-SPR預水洗反應單元過濾設備、高階AMC化學濾網及循環再生技術。濾能今年兩項新品取得關鍵進展，其中GFT-SPR已陸續裝機出貨，再生濾網也通過主要客戶認證，預計均於第4季貢獻營收，推動產品線從傳統耗材進一步跨入微污染控制設備與循環再生市場。
濾能表示，先進製程進入EUV世代後，對AMC（Airborne Molecular Contamination，空氣中分子污染物）控制要求持續提高，部分應用已進入sub-ppb等級，化學濾網也從傳統耗材，逐漸成為維持製程環境與良率的重要環節。
隨晶圓廠持續擴建、潔淨室規模放大，加上化學濾網具有週期性汰換需求，形成長期結構性市場需求。同時，淨零與ESG趨勢也改變半導體耗材使用模式，品牌客戶與供應鏈陸續提出RE100、碳中和及減廢目標，促使耗材從一次性使用，朝減量、重複使用及循環再生發展。
濾能深耕AMC防治逾10年，在既有化學濾網與駐廠工程服務基礎上，持續投入設備化與循環再生技術。其中，GFT-SPR為今年技術落地的重要進展，SPR透過反應機制處理特定分子污染物，可搭配既有AMC濾網，形成前端處理與後端過濾的整合架構，補強傳統吸附式濾網的應用範圍。
此外，SPR核心反應單元具循環再生特性，可在維持污染控制效能下，降低核心耗材一次性使用。首套設備完成裝機後，濾能將持續累積實際運轉數據與客戶應用經驗，深化SPR技術，並拓展其他微污染控制領域。
另一項新品再生濾網目前已通過主要客戶認證，預計第4季開始出貨並貢獻營收。不同於SPR著重核心反應單元循環再生，再生濾網則讓濾網本體可重複再生使用，在符合潔淨度及穩定性要求下延長產品生命週期，降低一次性材料使用與廢棄物。
濾能指出，相關技術延續「Reduce、Reuse、Regenerate」3R理念，SPR核心單元可循環再生，化學濾網則可再生使用，共同推動AMC耗材從一次性使用走向循環經濟，並兼顧客戶總持有成本、資源效率及減碳需求。
隨新產品陸續完成裝機、認證與商業出貨，濾能產品組合也從傳統AMC濾網，延伸至微污染控制設備、循環再生產品及工程服務。未來將持續開發SPR應用，以模組化設計延伸不同製程需求，再生濾網則將由客戶認證邁向穩定供應。
濾能表示，隨SPR與再生濾網逐步擴大應用，可望提高新產品在整體產品組合中的比重，為下一階段市場拓展與營運成長建立基礎。
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