台積電指出，透過「電子級化學品回收計畫」，已成功讓異丙醇（IPA）、四甲基氫氧化銨（TMAH）與環戊酮等化學品回收後重新導入製程使用。相關技術於2026年1月在晶圓十五B廠與十八A廠完成驗證，預計第二季擴大導入十四B廠、十五A廠、十八B廠等據點。全面推行後，每年可減少新液採購約1萬6,000公噸、減碳3萬1,100公噸，落實「搖籃到搖籃」的資源循環模式。
PGME／PGMEA主要應用於半導體黃光製程，涵蓋晶片清洗、光阻稀釋與設備清潔等用途，過往使用後的廢液多經初步處理後轉售至塗料、油墨等工業市場。隨著先進製程推進，相關化學品用量持續攀升，台積電因此投入廢液回收再生技術，建立化學品循環再利用機制。
在技術面上，台積電與供應商先針對不同純度廢液進行源頭分流，以降低沸點差異對回收效率與純度的影響，並透過蒸餾塔參數優化，有效去除有機雜質與金屬離子，確保電子級品質。同時，供應商於出貨前進行有機成分圖譜比對，確保再生材料符合製程穩定性與可靠度要求。
台積電強調，將持續以「綠色力量的執行者」為核心理念，呼應聯合國永續發展目標SDG 12，除PGME／PGMEA外，也同步評估醋酸正丁酯與氫氟酸等化學品回用可行性，朝向電子級再生材料量產化邁進，為永續製造樹立新標竿。
點擊閱讀下一則新聞
加油族趕快！下週汽、柴油價格各漲0.3元及0.6元
