林本堅指出，半導體是國家戰略產業，人才更是競爭力核心。清華半導體研究學院整合校內教學與研究資源，目標打造國際領先的研究重鎮；在技術快速迭代、跨域整合與供應鏈競爭升溫的背景下，與崇越的合作可望加速產學協作，強化先進製程與材料領域的人才與研究能量。
林本堅以突破性「浸潤式微影」技術聞名國際，將曝光介質由空氣改為純水，突破解析度極限，延續摩爾定律。崇越亦參與此一技術演進，因應客戶製程需求，攜手客戶與日本信越化學，從材料端精準調校純水在光阻表面的接觸角與表面張力、優化防水層特性，並降低離子遷移與缺陷風險，成功開發可支撐量產的浸潤式微影光阻材料。潘重良表示，材料雖微小，卻往往是推進製程世代、改寫技術路線的關鍵。
展望未來，崇越科技規劃未來五年每年投入300萬元支持清華半導體研究學院，深化材料開發與製程研發合作，強化台灣半導體自主創新能力。此次捐贈的三座模型，完整呈現晶圓廠立體架構與廠務系統，涵蓋無塵室、機電空調、超純水、氣體與化學品供應，以及廢水廢氣處理，並擬真展示擴散、微影、蝕刻、清洗、薄膜沉積、CMP、離子植入等關鍵製程，協助學生與參訪者直觀理解建廠與製程運作。
崇越集團副董事長暨永續長賴杉桂指出，未來將持續以教育支持、技術合作與研發投入，與清華共同培育人才、創造永續價值。
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