2023年將陸續導入台灣所有12吋晶圓廠區並列為新建廠標準設計，預計再創年節電量1億度、減碳5萬公噸。

 

台積電冰水系統主要由冰水主機、冷卻水泵、冷卻水塔、冰水泵、熱回收等附屬設備所組成，晶圓製程須仰賴冰水系統進行冷卻，穩定無塵室溫濕度以利機台運作；為更精進冰水系統運轉效益，台積電廠務針對冰水單主機、冰水多主機以及冰水系統分別開發機器學習模型，打造三大創新功能，提升設備運轉可靠度、強化能源使用效率。

台積電表示，公司積極投入綠色創新，除持續針對冰水系統開發節能模型優化運轉效率外，亦評估改造硬體設備，透過軟、硬體雙重升級創造更多節能機會與效益，朝2050年達到淨零排放的永續目標邁進。

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